国家知识产权局信息显示,深圳新宙邦科技股份有限公司申请一项名为“一种蚀刻液组合物”的专利,公开号CN121228242A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明涉及蚀刻液技术领域,具体涉及一种不含氟的、对铟镓锌氧化物(IGZO)底材几乎无损伤的铜及其合金蚀刻液组合物。本发明的蚀刻液组合物,包括含有羟基或氨基的膦酸类化合物、过氧化氢、含氮杂环类化合物、羟基酸或羰基酸类化合物、有机碱或无机碱、水;所述蚀刻液组合物满足以下条件:2≤M+N≤4,3≤N/M≤7。本发明包括上述原料,并进一步限定含有羟基或氨基的膦酸类化合物和含氮杂环类化合物的含量关系,通过原料之间的协同作用,能够在对底层IGZO膜几乎无损伤的同时,对铜及其合金的布线材料进行良好蚀刻,保证了器件良好的电性和结构的完整性,提高了产品良率,降低制造成本;同时本发明蚀刻液组合物不含氟,对环境友好。
天眼查资料显示,深圳新宙邦科技股份有限公司,成立于2002年,位于深圳市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本74777.9091万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳新宙邦科技股份有限公司共对外投资了29家企业,参与招投标项目32次,财产线索方面有商标信息206条,专利信息574条,此外企业还拥有行政许可70个。
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